金融界2025年5月31日消息配资注册免费体验，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备及其排气系统”的专利，公开号CN120072681A，申请日期为2023年11月。 专利摘要显示，本申请提供一种半导体工艺设备及其排气系统，排气系统包括排气机构和负压调节机构，排气机构包括排气管线、控压阀以及出气管线，排气管线连接半导体工艺设备的工艺腔室和控压阀，出气管线连接控压阀和废气管线，控压阀用于控制排气管线的排气压力；负压调节机构包括调节气源、调节管线和流量